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MicroFlow的质量流量计系列是检测部采用了本公司独立开发的热式流速传感器「μF传感器（Micro Flow Sensor）」的质量流量计。
使用微型机器技术、把超微细的流速传感器与高级的流路设计技术进行融合，用低价格实现了以前没有的高精度、宽可调比。
适用于生产工序、实验装置等使用的燃料煤气・各种工业煤气・工厂空气的流量管理及各车间的使用量管理等。
质量流量检测
与空气、煤气的使用温度、压力无关，可测量换算成标准状态下的流量。
（* 标准状态下的流量是指在1个大气压、0°C（或20°C）时的体积流量。）